경기 수원시 영통구 수원지방검찰청의 모습. 2022.6.28/뉴스1 © News1 김영운 기자

삼성전자 자회사 '세메스'가 개발한 초임계 반도체 세정장비를 중국에 유출한 혐의로 기소된 자회사 전 직원이 기술도면까지 유출한 것으로 확인됐다.

수원지검 방위사업‧산업기술범죄수사부(부장검사 박진성)는 산업기술보호법 위반, 부정경제 방지법 위반(영업비밀국외누설등) 등 혐의로 세메스 전 직원 A씨(47)를 구속기소했다고 16일 밝혔다.

이와 함께 산업기술보호법 위반 혐의로 A씨의 회사 직원 B씨(구속), 기술유출 브로커 C씨(구속), A씨의 회사 협력사 대표 D씨(구속) 및 직원 E씨(불구속) 등도 각각 기소했다.

검찰에 따르면 2021년 6월 D씨로부터 세메스 회사에서 개발에 성공한 초임계 반도체 세정장비 핵심도면을 부정취득 한 뒤, 브로커를 통해 중국에 누설한 혐의로 기소됐다.

또 같은 해 5~7월 세메스에서 개발한 매엽식 인산 세정장비 기술 정보를 부정사용해 자신이 설립한 회사 직원들에게 누설한 혐의도 있다. 인산 세정장비는 인산 약액을 사용해 반도체 웨이퍼를 1개씩 세정하는 장비다. 

이보다 앞서 A씨는 2019년 7월~2022년 10월 지인의 명의로 설립한 페이퍼컴퍼니를 이용한 끼워넣기 거래를 통해 자신의 회사자금 약 27억원을 횡령한 혐의도 받는다.

A씨는 지난해 5월25일 산업기술보호법 위반 혐의로 구속기소 된 후, 같은 해 11월1일 법원의 보석결정으로 석방됐으나 본건 범행혐의로 다시 구속됐다.

당시 A씨는 세메스가 개발한 세정장비 14대를 만들어 710억원을 받고 중국에 넘기는 혐의로 기소됐다. 그러다 검찰은 A씨가 기술도면까지 중국에 유출한 사실을 파악하고 압수수색을 통해 이들의 범죄 혐의를 소명했다.

세메스는 A씨 일당의 범죄로 약 350억원 상당 손해가 발생했다. 생산경쟁력 약화로 수조원 이상의 피해가 더 발생할 것으로 알려졌다.

검찰은 A씨 회사의 세정장비를 압류하는 등 약 535억원 상당 추징보전 명령을 집행했다.

세메스가 개발한 '초임계 반도체 세정장비'는 고온의 황산약액을 사용해 반도체 기판을 세정하는 설비로 기판의 손상을 최소화해 오염물질을 제거하는 기술이다. 이는 반도체 불량을 줄이는 첨단기술로 알려졌다.

수원지검 관계자는 "건전한 기술개발 풍토를 해치고 공정한 시장경쟁 질서를 해치는 산업기술 및 영업비밀 침해행위를 엄단할 것"이라며 "범죄수익을 끝까지 추적해 환수하겠다"고 말했다.